日立S-450扫描电镜真空系统分析及故障处理

摘要：

在对日立S-450型扫描电镜真空系统的组成结构、工作流程、控制原理及电路特点认真研究的基础上,对真空系统放气流程中发生的故障进行了详细描述分析.从控制电路的电源人手,将故障范围缩小到了电磁阀驱动电路,通过对此电路组成的特点分析、电路关键点参数的测量及其相关电子元器件技术参数的查阅,采用国产元器件成功修复了扫描电镜不能执行放气流程的故障,并从加强学习、注意收集资料、处理故障的方法、积极的日常维护等方面浅谈了扫描电镜维护与故障处理的几点体会,希望对还在继续使用同类电镜的同仁有所参考,使这类老型号的大型精密仪器能够继续发挥作用.

关键词：扫描电镜、真空系统分析、故障处理

所属期刊栏目：45

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2016-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-34,58