CO2激光改性溶胶-凝胶SiO2薄膜光谱及紫外纳秒激光损伤特性研究

摘要：

研究了经过CO2 激光处理的溶胶-凝胶 SiO2 薄膜的物理化学性能和抗激光损伤性能,研究结果表明激光处理后薄膜表面变得更加光滑,粗糙度从 14.08 nm降低到 9.76 nm,下降了 30％以上;薄膜的厚度随着CO2 激光处理功率增加有所降低,经过 20W激光处理后薄膜的厚度下降了 17％～28％,而薄膜的弹性模量和硬度等力学性能获得提升,弹性模量从 1.5 GPa 增加到 6 GPa,硬度从 40 MPa 增加到 110 MPa;傅里叶变换红外光谱测试结果表明激光处理后薄膜的傅里叶光谱峰值从 1125 cm-1 移动至 1120 cm-1,薄膜中的硅原子和氧原子的平均桥键角变小,原因为 CO2 激光处理时会使局部温度升高,会加速 Si—OH 键脱水缩合,孔隙率降低,吸收下降.采用紫外纳秒激光对薄膜进行损伤测试,结果显示经过 12 W CO2 激光处理后的薄膜与未经过CO2 激光处理的薄膜相比损伤面积更小,而损伤阈值从 4.8 J·cm-2 上升到 7J·cm-2,提升了 46％;经过 16W和 20 W CO2 激光处理的薄膜紫外纳秒激光损伤阈值没有明显变化,原因为较高功率CO2 激光处理导致薄膜表面发生烧蚀沉积,沉积物会影响紫外纳秒损伤阈值无法有效改善薄膜的激光损伤性能.研究结果表明CO2 激光处理技术可以有效改善溶胶-凝胶 SiO2 薄膜的弹性模量、硬度等力学性能和抗激光损伤性能,CO2 激光的功率对薄膜性能影响较大,CO2 激光处理是一种有效的提升溶胶-凝胶 SiO2 薄膜紫外纳秒激光损伤特性的技术手段.

关键词：CO2激光、溶胶-凝胶薄膜、激光处理、光谱特性、紫外纳秒激光损伤

所属期刊栏目：43

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1752-1759