基于扫频采样的飞秒激光大尺寸测距方法研究

摘要：

作为一种高精度测量工具,飞秒激光具有优于传统激光技术的特性,已被广泛应用于工业生产、航空航天、科学研究等领域.扫频采样法在很大程度上改善了机械振动、扫描速度过慢等问题,对飞秒激光的绝对测距性能提升有着重要的意义.基于扫频采样原理,提出了一种利用飞秒激光的大尺寸距离测量方法,并对该技术的测量原理、干涉光谱和解调算法等方面进行了研究.首先,根据飞秒激光的锁模生成原理和压电陶瓷的压电效应,介绍了飞秒激光器连续扫描重复频率的方法.在此基础上,结合传统的光学采样法原理,解释了扫频采样法的测距原理,推导并讨论了光纤延迟线的长度对扫描距离的影响.然后,搭建了基于扫频采样的飞秒激光测距系统,在线性导轨上进行了远距离的测量实验,同时设计了基于迈克尔逊干涉原理的He‐Ne激光参考光路.根据实验环境修正了空气群折射率,分析了测量距离对光谱条纹峰值和宽度的影响,测量了不同目标位置处的激光扫描距离.在50·4 m的测量范围内,扫描距离从0·56 mm增加到1·12 mm ,充分验证了光纤延迟线对提升大尺寸测距能力的重要性.周期性的频率扫描可产生互相关条纹,通过对测量光谱条纹进行希尔伯特变换处理,解算出实时的频率变化量和采样倍乘系数,从而获取被测的距离信息.此外,为了减小系统的时间延迟误差,提高测量的准确性,采用差分原理对算法进行了改进.在希尔伯特算法基础上,分别对频率和距离进行差分处理,解算距离信息.实验结果表明,经过对比,采用基于距离差分的改进算法处理数据,性能结果较好.算法改进后,系统在50 m范围内的测量精度从11 μm提高到4 μm ,相对精度从2·2×10－9提高到8×10－8 ,测距准确性明显提高.通过分析重复性测量数据,并与增量式激光干涉仪结果比对,测量误差的标准差从10 μm提高到2 μm ,最大相对稳定性从2×10－9提高到4× 10－8 ,测距稳定性明显提高.因此,该方法有较为优秀的大尺寸测距能力,具有同时实现高精度、大尺寸、快速绝对测距的潜力,在未来的精密光谱测量领域有着很大的前景.

关键词：飞秒激光、光学采样、大尺寸测距、干涉光谱

所属期刊栏目：39

分类号：O433.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目51675380 ,51775379

在线出版日期：2020-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2708-2712