不同气体组分的PS-PVD射流光谱诊断

摘要：

采用发射光谱分析不同气体组分的等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)射流,通过Abel转换得出射流径向各点处的光谱强度,比较和分析射流中不同气体的成分分布.采用多谱线斜率法研究不同气体组分的射流在径向距离上电子温度的变化,通过Hβ 谱线的stark展宽计算径向上电子密度的分布.结果表明:Ar/H 2气体中,H 2在焰流中心区域(0~30 mm)分布较为均匀,但在焰流中心稍靠外的区域(30~60 mm)随着径向距离的增加而增加;加入He后,Ar和H 2在焰流中心处浓度较低并在一定范围内随着径向距离的增加而增加,He往焰流中心聚集;不同气体组分的电子温度和电子密度随着径向距离的增加而降低,同时受到H 2和He的影响.

关键词：超低压等离子体射流、发射光谱、气体组分、电子温度、电子密度

所属期刊栏目：37

分类号：TE6222.1(石油、天然气加工工业)

资助基金：广东省对外合作项目2013B050800027;广州市对市合作项目201508030001;广东省科学院平台建设项目2016GDASPT-0206,2016GDASPT-0317

在线出版日期：2017-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2995-2999