10.3964/j.issn.1000-0593(2015)05-1169-04
集成电路芯片温度依赖的PbSe量子点PL光谱研究
制备了3.6,5.1和6.0 nm三种尺寸的胶体PbSe量子点,并对其光学特性进行实验研究。在室温条件下,实验发现小尺寸胶体PbSe量子点的光致发光光谱随温度升高发生红移;大尺寸胶体PbSe量子点的光致发光光谱随温度升高发生蓝移。以PbSe量子点温度依赖的光致发光光谱特性为基础,提出一种新型的集成电路芯片温度检测方法。这种新型的温度检测方法是将胶体PbSe量子点沉积在集成电路板表面,使用激光器发射出平行激光束,使芯片表面的胶体PbSe量子点层光致发光,通过红外光谱仪接收光致发光光谱,实现温度的检测;利用图像采集系统对芯片表面特定微小区域成像,实现微米尺度区域的温度检测。实验结果表明,测量精度为±3℃,其相对误差不大于5%。
胶体PbSe量子点、光致发光光谱、集成电路、温度检测
O433.4(光学)
国家863计划项目2011A A050509;国家自然科学基金项目61106039;博士后基金项目20110409015
2015-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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1169-1172