微型石英敏感平板玻璃零件参数的激光视觉测量研究

摘要：

高精度、快速非接触的平板玻璃零件的几何参数测量，已成为相关生产领域的主要问题，也是激光光谱学的一个重要应用方向。平板玻璃零件几何参数的准确检测不仅有助于加工工艺的改进和产品装配精度的提高，还可以实现按参数分档管理。为实现微型石英敏感平板玻璃零件参数的精密测量，提出了一种基于激光与视觉图像处理技术的多参数测量方法，设计了由自适应同轴视觉检测单元和激光视觉厚度测量单元构成的测试系统。为了保证其中的半导体激光器 LD（laser diode）能提供稳定的光源，设计了一种恒功率驱动控制系统。在亚像素图像处理中给出了改进的亚像素边缘定位算法，实现了二次曲线特征边缘亚像素精确定位。利用检测出的曲线边缘点数据，通过定义一个新的误差函数并最小化，可以计算出微型石英敏感平板玻璃零件参数，从而实现图像特征参数的精确提取。在实验室条件下进行微型石英敏感平板玻璃零件几何参数的检测试验，测量结果的平均偏差优于2μm。该方法稳定性好，测量精度高，满足微型石英敏感平板玻璃零件参数检测的精度要求。

关键词：激光视觉图像处理、亚像素边缘定位、微型平板玻璃零件、参数测量

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家国际科技合作专项项目2013DFR10530

在线出版日期：2014-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1450-1455