真空电弧离子源Ti（H）等离子体原子发射光谱分析的初步研究

摘要：

作为一种常用的等离子体诊断方法，原子发射光谱法具有非侵入、在线诊断、时空分辨等优点，在等离子体诊断领域得到了广泛的应用。作为一种单次脉冲离子源，真空弧离子源具有结构紧凑、工作压强低、束流大和可以随时开始工作等其他类型的离子源所无法比拟的优点，在离子源研究和应用领域受到了极大的关注。为了研究真空弧离子源的放电过程，对其放电生成等离子体的特性进行详细描述，并为进一步的离子源研究和改进奠定基础，采用原子发射光谱法对其放电生成等离子体的参数进行诊断。本文结合原子发射光谱的斯塔克（Stark）展宽和Saha-Boltzmann方程，发展了两种针对光谱仪采集到的发射光谱数据的处理方法，可对等离子体的电子温度、电子密度、离子温度以及热运动状态进行诊断。对阴极为Ti（H）材料时真空弧离子源放电生成的等离子体，分别采用这两种方法对其进行了诊断，对诊断结果的有效性进行了判断。此外，还对光谱采集过程中，实验室背景辐射对诊断结果的影响进行了讨论。

关键词：真空弧离子源、发射光谱、Saha-Boltzmann方程、斯塔克展宽-Saha方程

分类号：O657.3(分析化学)

在线出版日期：2014-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：801-804