氢化物气相外延生长的GaN膜中的应力分析

摘要：

对在c面蓝宝石上用氢化物气相外延法(HVPE)生长的六方相纤锌矿结构的GaN膜中的应力进行了分析.高分辨X射线衍射(002)面和(102)面摇摆曲线扫描(半高宽数值分别为317和358角秒)表明生长的GaN膜具有较好的晶体质量.利用高分辨X射线衍射技术准确测量了制备的GaN膜的晶格常数,并计算得到GaN膜中面内双轴应变和面外双轴应变分别为3.37×10-4和-8.52×10-4,等静压应变为-7.61×10-5.拉曼光谱和激光光致发光谱测试表明HVPE-GaN外延膜具有较好的光学特性,利用拉曼光谱的E2模式特征峰和激光光致发光谱中近带边发射峰的频移定量计算了外延膜中的面内双轴压应力和等静压应力.两种方法得到的面内双轴压应力较为相符.

关键词：氮化镓、氢化物气相外延、拉曼光谱、激光光致发光谱、应力

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分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展规划项目2011CB301900,2012CB619304;国家高技术研究发展规划项目2011AA03A103;国家自然科学基金项目60990311,60906025,61176063,51002079,21203098;江苏省自然科学基金项目BK2011010

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2105-2108