基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究

摘要：

根据凹面光栅的几何像差理论,提出了一种基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计方法,该方法利用遗传算法和光学设计软件ZEMAX两次优化来获得最优的光学结构参数.以设计一个远紫外成像光谱仪为实例,工作波段110～180 nm,狭缝尺寸50 μm×5 mm,数值孔径0.1,利用ZEMAX软件对设计结果进行了分析和评价,结果表明,不同波长的光学传递函数在奈奎斯特频率101 P/mm处均大于0.7,点列图半径的均方根值小于14 μm,在工作波段内获得了良好的成像质量,满足空间分辨率0.5 mrad,光谱分辨率0.6 nm的设计要求,也证明了该优化设计方法是可行的,可在其他波段推广应用,对光栅色散型成像光谱仪的设计具有指导意义.

关键词：成像光谱仪、光学设计、超环面均匀线距光栅、遗传算法、ZEMAX

所属期刊栏目：32

分类号：TH744.1(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目41105014

在线出版日期：2013-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1433-1437