基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理与分析

摘要：

提出了一种新型的基于可编程MEMS(micro-electro-mechanical systems)微镜的微型傅里叶变换红外光谱仪.该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统.理论分析了该光谱仪的工作原理,并进行了计算机仿真,验证了该方法的可行性.结果表明,该光谱系统能够准确地还原光谱信息,其光谱分辨率在近红外区域小于5 nm,波长准确性约1nm,系统理论上的信号采集周期约50 ms.适合于利用阿达玛变换提高信噪比,可应用于微量物质检测.

关键词：光谱、MEMS、傅里叶变换

所属期刊栏目：32

分类号：TH744.1(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目60976084

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3151-3154