面向微小型紫外光谱仪的凹面光栅模拟与设计

摘要：

针对微型紫外光谱仪设计要求,基于凹面光栅理论与方法开展了微小型紫外光谱仪的像差分析,完成平场化凹面光栅的模拟分析与设计,解决了紫外宽光谱与高分辨率问题,同时应用光栅衍射理论、全息光学理论,采用光栅设计软件PCGrate对凹面光栅的衍射效率进行了设计和优化,使所应用级次的光谱衍射效率在整个设计波段内达到最优,实现了微小型紫外光谱仪的平场凹面光栅设计.所设计紫外凹面光栅工作波长范围190～410nm、口径20 mm,F/#=0.21.按照设计参数装调的微型紫外光谱仪在宽度为50μm缝光源再现情况下,光谱分辨率优于3nm,衍射效率无异常出现.

关键词：紫外光谱、衍射效率、凹面光栅、ZEMAX、PCGrate

所属期刊栏目：32

分类号：TH744.1(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2009AA042327;国际科技合作项目2007DFC00040;重厌币自然科学基金项目CSTC,2007BB3203;重庆市科技攻关计划项目CSTC,2007AC2045

在线出版日期：2012-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1717-1721