MOEMS微镜面阵光谱仪的优化设计与实验

摘要：

MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量,具有无需斩波器实现脉冲信号输出,无需机械模板实现哈达吗调制,象元分辨率高,体积小,成本低等优点.针对MOEMS微镜面阵光谱仪设计中,狭缝尺寸与光通最之间的矛盾,本文系统深入的分析该光谱仪微型结构引入的新影响因素,获取最优值,实现光谱分辨率改进.首先,提出了衍射限制,空间采样率和谱面内弯曲对分辨率的影响,模拟仿真,获取最优参数.最后,搭建实验,进行测试.结果表明:微型光谱仪中,谱面内弯曲影响较小；衍射受限导致光谱分辨率无法进一步改善；空间采样率要求光谱光学分辨力至少是象元分辨力的两倍；综合评价的狭缝最优值为1.818 μm,象元分辨力为2.278 6 nm.

关键词：分辨率、微镜、光谱仪、MOEMS

所属期刊栏目：31

分类号：TH744.1;TH741(仪器、仪表)

资助基金：三峡库区环境监测微系统国际科技合作项目2007DFC00040;国家中央高校基本科研业务专项资金项目CDJXS 10 12 11 46;重庆市院士基金项目CSTC2008BC3002;国家自然科学基金项目60708017

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3412-3416