利用紫外透射光谱研究透射式GaN光电阴极的材料结构及光学特性

摘要：

GaN紫外光电阴极是近年发展起来的一种高性能真空紫外探测器件,其中透射式结构作为光电阴极实际应用的工作模式,其多层结构参数及光学特性对阴极的最终光电发射性能有着重要的影响.测试了透射式GaN阴极材料的紫外透射光谱,通过建立透射式GaN阴极样品的透射模型,得到了GaN阴极样品的薄膜厚度、光学吸收系数与透射谱之间的函数关系.计算得到的GaN外延材料的厚度与实际值误差小,吸收系数与已发表数据一致,表明紫外透射光谱法能够准确地实现透射式GaN阴极材料结构及光学特性的评估.

关键词：紫外透射光谱、透射式GaN光电阴极、薄膜厚度、光学吸收系数

所属期刊栏目：31

分类号：O433;TN23(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目60701013

在线出版日期：2011-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1606-1610