基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究

摘要：

提出了一种基于傅里叶变换红外(FTR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统.给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路.通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比.对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数.该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景.

关键词：傅里叶变换红外光谱仪、红外反射谱、动态随机存储器、深沟槽结构

所属期刊栏目：29

分类号：O657.3(分析化学)

资助基金：国家"863"计划项目2006AA042325;国家自然科学基金项目50775090;新世纪优秀人才支持计划项目NCET-06-0639

在线出版日期：2009-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：935-939