CdTe太阳电池背接触层的XPS研究

摘要：

采用共蒸发法在不同条件下制备了ZnTe和ZnTe:Cu多晶薄膜,通过XRD和XPS研究了它们的结构和各元素的浓度分布.结果表明,不同衬底温度下沉积的薄膜,结构无明显变化,利用XPS溅射剖析获得了薄膜中各成分浓度随溅射时间变化的分布图,发现不同条件下制备的薄膜,溅射速率不同,各成分随溅射时间的变化也不相同.薄膜中Cu的浓度随溅射时间增加而快速增加,并达到一极大值,然后快速下降.根据Cu浓度的变化研究了ZnTe层对Cu原子的阻挡作用,通过对Cu浓度随时间变化分布图的比较,作者认为,用70℃制备ZnTe,而后在常温下制备ZnTe:Cu的复合膜作为CdTe太阳电池的背接触层,能有效阻挡Cu原子的扩散,提高电池效率.

关键词：CdTe太阳电池、光电子能谱、ZnTe/ZnTe、Cu多晶薄膜

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.2(半导体技术)

资助基金：国家"863"重点项目2003AA513010;教育部博士点基金项目20050610024;四川省应用基础项目2006J13-083

在线出版日期：2009-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：904-907