平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析

摘要：

设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统.它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列(线阵NMOS)作为光电接收器件.运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理进行了理论分析;并对光学系统进行了像质分析.分析得出,系统装置结构紧凑,电子学系统简化;不存在保证两光栅光谱仪的波长扫描同步问题,具有很好的波长重复性,精度易于保证;较之以往文献中的自动化方案制造成本降低,且操作简便,工作效率提高.研究结果表明:该测试仪工作光谱范围为190～1100 nm,覆盖了大多数常用光栅的应用波长范围;且系统光谱分辨率小于3 nm,完全满足设计要求,是一种经济可行的方案.

关键词：平面反射光栅、相对衍射效率、光栅光谱仪、线阵NMOS、像差

所属期刊栏目：29

分类号：TH744.1;TB96(仪器、仪表)

资助基金：国家"十一五"科技支撑计划重大项目2006BAK03A02

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：556-560