FTIR监测金刚石薄膜生长的研究

摘要：

用电子回旋共振等离子体(ECR)系统,在气压、衬底温度以及微波功率等外界条件不变的情况下,仅改变甲烷浓度制备金刚石薄膜,利用傅里叶红外吸收光谱仪(FTIR)对甲烷浓度为6%的ECR系统进行实时监测,分析研究了不同沉积时间条件下.甲烷和氢气产生的等离子体对薄膜早期成核、生长过程以及衬底的影响,并结合Raman光谱X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对金刚石薄膜进行了分析.

关键词：金刚石薄膜、电子回旋共振系统、傅里叶红外吸收光谱仪、X射线衍射仪

所属期刊栏目：28

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目10275088

在线出版日期：2008-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1049-1051