超薄Ag膜的椭偏光谱建模及解谱

摘要：

用直流溅射法制备了6个不同厚度的超薄Ag膜.结合超薄Ag膜的结构特点,采用了Drude模型联合Lorentz OScillator模型的解谱方法,得到1～6号样品的厚度分别为4.0,6.2,12.5,26.2,30.0和40.6 nm.从拟合结果的消光系数k图谱中发现,在1号到4号样品中分别于430,450,560和570 nm处出现了表面等离子体共振峰(SPR),随膜厚的增加共振峰宽化且峰位红移.最后,利用SPR理论计算出不同厚度Ag薄膜等离子体共振峰出现的位置,并和实验结果进行了比较.

关键词：超薄Ag膜、椭偏数据解谱、表面等离子体共振吸收

所属期刊栏目：28

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目59972001;教育部博士点专项基金项目20060357003;安徽省高校省级自然科学基金项目JK2008B015;安徽省人才专项基金项目2004Z029;安徽大学人才队伍建设基金

在线出版日期：2008-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：995-998