10.3964/j.issn.1000-0593.2008.04.011
电子助进化学气相沉积金刚石中的光发射谱特性
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2 :λ=165.7 nm)以及CH(A2△→X2Ⅱ:λ=420~440 nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化,研究了不同反应室气压及衬底温度下的光发射谱特性.结果表明,不同衬底温度下各谱线强度均随气压的增大先增大后减小,当气压较低时,谱线强度随衬底温度的增大而减少,而气压较高时,谱线强度随衬底温度的增大而增大.
电子助进化学气相沉积、金刚石、蒙特卡罗模拟、发射光谱
28
O539(等离子体物理学)
国家自然科学基金10375015;河北省自然科学基金502121;河北大学校科研和教改项目2005Q31
2008-07-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
763-765