氮化碳薄膜的X射线光电子谱

摘要：

用XPS研究射频-直流等离子体增体增强化学气相沉积(PECVD)获得的氮化碳(CN)薄膜的化学结构.C1s和N1s芯能级电子谱分析表明:在CN膜中含有N-sp3和N-sp2两类化学结构,在高含N膜中还含有少量的N-sp相,且代表N-sp3结构的原子比为1.28,接近4:3,证明此膜中存在类β-C3N4相.且增加膜中含N量有利于提高类β-C3N4相的含量.CN膜的化学结构在离子辐照下会发生轻微变化,结果表明,随离子剂量增加,N-sp3/N-sp2比增高,但膜中氮碳原子比N/C下降.

关键词：氮化碳膜、化学结构、XPS、离子辐照

所属期刊栏目：19

分类号：O6(化学)

资助基金：中国科学院资助项目59571047;19775036

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：734-737