衬底对微米金刚石聚晶薄膜生长及场发射特性的影响

摘要：

本文在陶瓷衬底上面利用磁控溅射的方法镀上一层厚金属钛,用不同方法对金属钛层进行表面处理,处理后的衬底放在微波等离子体化学气相沉积腔中,在相同的沉积条件下制备出不同微米金刚石薄膜.对不同的薄膜的微观表面形态、结构组成进行对比研究;对不同的薄膜用二极管型结构测试了它们的场致发射电子的性能,并对发射机理进行了深入的研究.最终分析出不同方法处理的衬底,对微米金刚石聚晶薄膜生长及场发射特性的影响的原因.

关键词：微米金刚石薄膜、场致电子发射、微波等离子体化学气相沉积

所属期刊栏目：21

分类号：TB383;O484;PACC:8115H;PACS:7341(工程材料学)

资助基金：教育部科技项目;河南省科技计划

在线出版日期：2016-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：220-225