玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

摘要：

本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析.在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光.利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性.通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场？时,最大场发射电流密度达？.并对其发射机理进行了研究.

关键词：微波等离子体化学气相沉积、碳纳米管、场致电子发射

所属期刊栏目：19

分类号：TB383;O484(工程材料学)

资助基金：教育部科学技术重点资助项目205091;河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目教高[2011]550号

在线出版日期：2014-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72