氧化铟锡(ITO)薄膜的透明吸波特性研究

摘要：

利用直流磁控溅射技术室温下在柔性聚酯薄膜衬底上制备了ITO薄膜,将ITO薄膜与有机玻璃和空白聚酯薄膜等介质材料组合成复合结构,最终得到吸波能力较强的透明吸波体.该吸波体在Ku带(12～18GHz)范围波段衰减低于-10dB,峰值超过-20dB,且在可见光区透光率达到68%.

关键词：直流磁控溅射、ITO薄膜、透明吸波体

所属期刊栏目：12

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金90305026;中国工程物理研究院基金2005R0504

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：465-468