电极对PZT铁电薄膜的微观结构和电性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜.研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响.(100)择优取向的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲劳特性和漏电流特性方面都有了很大提高.PZT/LNO薄膜1010次极化反转后剩余极化几乎保持未变,直至1012次反转后,剩余极化仅下降了17%.

关键词：PZT薄膜、LNO电极、电性能、疲劳、Pt电极

所属期刊栏目：10

分类号：TN304.9(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金NSF50302006;上海市科委资助项目OOJC14055

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：289-293