基于导电AFM类金刚石膜表面改性研究

摘要：

用导电原子力显微镜(AFM)针对宏观上绝缘,微观上由导电相sp2和绝缘相sp3混合的类金刚石(DLC)膜,进行表面改性的研究,尤其观察DLC膜表面施加电压前后形貌变化.实验表明,当直流电压加在针尖上,DLC膜形貌未发生变化,而电压施加在样品表面则出现明显纳米加工凹坑.解释了凹坑的"蝴蝶坑"形成原因;对DLC膜力电耦合实验表明,在一定临界压力之下,随针尖对样品作用力的加大,凹坑的深度随之增加.

关键词：AFM、DLC、表面改性、力电耦合

所属期刊栏目：10

分类号：O484.1;TB383(固体物理学)

资助基金：江苏大学校科研和教改项目;江苏省开放基金

在线出版日期：2004-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：111-114