热处理对KTN薄膜结构和形貌的影响

摘要：

本文用XRD、SEM等分析手段,对用Sol-Gel法制备的Gel膜在不同热处理条件下处理后的KTN薄膜进行分析.发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大,并对其的影响进行了分析讨论.在合适的热处理条件下,在SrTiO3(100,111)衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧密、纯钙钛矿结构的KTN薄膜.

关键词：KTN、Sol-Gel热处理、钙钛矿结构、表面形貌

所属期刊栏目：6

分类号：TN304.9(半导体技术)

资助基金：中国科学院资助项目59302015

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：43-49