不同氧含量三明治结构BaTiO3薄膜的制备及其光电性能研究

摘要：

针对不同氧含量薄膜结构对钛酸钡薄膜微观结构与光电性能的影响进行研究,通过射频磁控溅射法制备高质量的钛酸钡薄膜.设置基片加热温度为350℃,工作气压为1.6 Pa,溅射功率为150 W,当总溅射时间为200 min时,在ITO基片上构建具有"贫氧+富氧+贫氧"三明治结构的钛酸钡薄膜.采用XRD、SEM、XPS等对薄膜微观结构、形貌和元素含量进行表征,采用LCR测试并计算得到薄膜的介电常数及介电损耗值.实验结果表明,制备的三明治结构薄膜厚度为810 nm,其平均可见光透光率可达55％,薄膜的介电常数为3.8,介电损耗值小于0.18.采用"贫氧+富氧+贫氧"三明治结构有利于提高钛酸钡薄膜的结晶性,且有利于提高钛酸钡薄膜的晶粒尺寸,提高钛酸钡薄膜的介电常数,降低其介电损耗值.

关键词：BTO薄膜、射频磁控溅射、氧含量、三明治结构、光电性能

所属期刊栏目：42

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;广西重大科技专项;广西电子信息材料构效关系重点实验室基金;广西科技基地和人才专项

在线出版日期：2022-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：259-264