10.3969/j.issn.1673-808X.2005.03.014
光刻机工件台位移测量系统的设计与实现
根据所设计光刻机工件台的定位精度要求,选取Renishaw RGH25F直线位移测量光栅作为其位置检测传感器,在此基础上完成了面向TMS320LF2407A DSP接口的工件台位移测量系统的软、硬件设计.实际运行中该测量系统工作稳定、可靠,而且系统还具有重复测量精度高、测量稳定性好和成本相对低廉等优点.
工件台、位移测量、光栅、DSP
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TP212.9(自动化技术及设备)
国家自然科学基金50265001;广西自然科学基金0339068
2005-07-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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