超净介质中颗粒状杂质的光散射测试技术的理论研究

摘要：

对超净介质中的颗粒计数理论进行了详细的分析,建立了同轴采光和异轴采光结构的数学模型,得出光通量和粒径之间的对应关系,并通过数值计算,对可能影响计数效率的几个因素进行了分析讨论.

关键词：光散射、光通量、颗粒测量、颗粒粒径

所属期刊栏目：20

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海市曙光学者计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：6-12