集成传感器技术挑战与机遇

摘要：

发展趋势集成传感器是指利用现代微加工技术,将敏感单元和电路单元制作在同一芯片上的换能和电信号处理系统.敏感单元包括各种半导体器件、薄膜器件和MEMS器件,其功能是将被测的力、声、光、磁、热、化学等信号转换成电信号;电路单元包括信号拾取、放大、滤波、补偿、模数转换等电路.集成传感器是现代传感器技术发展的必然趋势,其演进的步伐紧跟集成电路的发展道路.

在线出版日期：2017-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：58-61