集成传感器技术挑战与机遇
发展趋势集成传感器是指利用现代微加工技术,将敏感单元和电路单元制作在同一芯片上的换能和电信号处理系统.敏感单元包括各种半导体器件、薄膜器件和MEMS器件,其功能是将被测的力、声、光、磁、热、化学等信号转换成电信号;电路单元包括信号拾取、放大、滤波、补偿、模数转换等电路.集成传感器是现代传感器技术发展的必然趋势,其演进的步伐紧跟集成电路的发展道路.
2017-03-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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