面向物联网应用的MEMS传感器技术

摘要：

应用广泛的MEMS
MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System)的简称.它有两个特征:其一是器件尺寸在微米或纳米量级;其二是通常有一个悬空的运动部件以实现感知或传动功能,比如图2中的悬臂梁.当悬臂梁的运动状态发生变化时,设计好的机电耦合装置就把机械运动转化成电信号.

机标关键词：mems传感器技术、物联网应用

分类号：TP212.9;TP391.44;TN943

在线出版日期：2017-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：52-57