中国半导体装备制造业的创新崛起之路
一个国家的半导体装备制造业水平,决定这个国家的半导体行业水平,继而决定这个国家的综合竞争力和国际影响力.从半导体产业历史来看,“一代设备,一代工艺,一代器件”表明它们之间是相辅相成互相促进的,尤其设备与工艺是互动的.由于更新换代非常快,所以半导体装备制造业是一个高投资、高风险的行业,同时也是创新最快的一个领域.
装备制造业、半导体、新崛起
F426.4;I109.5;F273.1
2016-04-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
86-89
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装备制造业、半导体、新崛起
F426.4;I109.5;F273.1
2016-04-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
86-89
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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