中国半导体装备制造业的创新崛起之路

摘要：

一个国家的半导体装备制造业水平,决定这个国家的半导体行业水平,继而决定这个国家的综合竞争力和国际影响力.从半导体产业历史来看,“一代设备,一代工艺,一代器件”表明它们之间是相辅相成互相促进的,尤其设备与工艺是互动的.由于更新换代非常快,所以半导体装备制造业是一个高投资、高风险的行业,同时也是创新最快的一个领域.

机标关键词：装备制造业、半导体、新崛起

分类号：F426.4;I109.5;F273.1

在线出版日期：2016-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：86-89