光电行业洁净间VOCs扩散特性及处理工艺研究

摘要：

光电行业生产过程所产生的有机挥发物不仅对人体产生危害,也成为影响产品品质的关键问题之一.本文综合论述了洁净间环境VOCs来源、扩散及浓度分布特性、处理工艺等,并结合案例分析了沸石吸附处理环境VOCs工艺中脱附温度和脱附时间对VOCs处理效率和能耗以及对整体运行经济效益的影响.

关键词：光电行业、VOCs、效率和能耗、经济效益

在线出版日期：2020-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：107-109