脉冲红外和热导检测法测定钌粉和钌靶中氧、氮含量

摘要：

建立了钌粉和钌靶中氧、氮含量的测定方法。研究了样品前处理、仪器条件、助熔剂选择、方法准确度和精密度等。以锡-碳作助熔剂，在选定条件下，采用脉冲红外和热导检测法，测定50×10-6氧时RSD<10%，测定40×10-6氮时RSD<25%；加标回收率：氧100%~102%，氮91%~101%。测定范围：氧0.002%~0.4%，氮0.0001%~0.02%。方法简便、快速、精密度和准确度满足质量控制要求。

关键词：分析化学、钌粉、钌靶、氧、氮含量

分类号：O659.32;O659.33(分析化学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划项目2012AA063203;国家自然科学基金51262015;云南省自然科学重点基金2010ZC261;云南省自然科学基金2010ZC55。

在线出版日期：2014-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56