10.3969/j.issn.1004-0676.2010.01.001
前驱体加热温度对Pt-Ir合金薄膜的成分与沉积速率的影响
以乙酰丙酮铱和乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上沉积了PtIr薄膜.研究了前驱体加热温度对PtIr薄膜结构、成分和沉积速率的影响.结果表明,MOCVD的PtIr薄膜为合金膜,Pt-Ir合金薄膜成分、沉积速率随前躯体加热温度变化而变化,并存在极值点.
复合材料、金属有机物化学气相沉积、Pt-Ir合金膜、成分、沉积速率
31
TG146.3(金属学与热处理)
云南省自然科学基金资助项目2004E0064M
2010-05-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
1-3,7