精密气动定位系统的发展及应用

摘要：

精密气动定位系统具有高精度、高速、大行程、传动平稳、使用费用低等优点,目前广泛地应用于光刻、数控机床等诸多精密工程领域.本文按照时间顺序介绍了精密气动定位系统的发展情况,总结了精密气动定位系统的应用特点,并指出当前精密气动定位系统一些有待改进的关键技术.

关键词：气动、精密定位、非线性、气驱动器

所属期刊栏目：28

分类号：TH138

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02005

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：37-44