光刻机投影物镜安装方式研究

摘要：

不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响.对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论.

关键词：投影物镜、安装方式、隔振方式、投影光刻系统

所属期刊栏目：28

分类号：TH703(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：22-26