多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究

摘要：

衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标.为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬底的槽形不发生变化.针对极紫外波段所采用的矩形光栅衬底,对其镀膜过程中的槽形变化进行了考察.结果表明,多层膜周期数对保持光栅槽形至关重要.对于槽深在2～5 nm的极浅槽深矩形光栅,为确保光栅槽形不发生变化,必须选择合适的多层膜周期数.按照这一原则制备的多层膜矩形光栅,在14.65 nm处-1级衍射效率实测结果为22.1%,超过了国内外同类实验结果的最高报道值.

关键词：极紫外、多层膜光栅、光栅槽形

所属期刊栏目：28

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60678034

在线出版日期：2011-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20