导轨运动误差对CCD拼接影响分析

摘要：

对于大视场、高分辨率空间CCD相机,多片CCD拼接技术仍是目前解决单片CCD线阵像元数目及其长度不能满足需求的主要手段.多片CCD器件的拼接精度直接影响CCD焦平面子系统的成像质量.焦平面CCD器件的拼接是在专用工具CCD拼接仪上完成的,CCD拼接仪的综合拼接误差决定了CCD器件的拼接精度.本文基于三坐标测量机的测量误差空间数学模型.推导出了由于直线导轨的运动误差引起的CCD拼接仪系统拼接误差的完整计算公式,通过对公式进行分析并实例计算,结果表明除了直线导轨的线位移运动误差外,由于直线导轨的角位移运动误差引起的阿贝拼接误差也是CCD拼接仪系统拼接误差的重要组成部分,而且由于CCD拼接仪的仪器构成特点以及三维空间工作特性,很难通过优化仪器布局来同时消除所有方向的阿贝误差.通过对各种消除或减小CCD拼接仪系统拼接误差的方法进行探讨,得出结论:采用误差补偿技术是减小CCD拼接仪系统拼接误差的有效方法.

关键词：CCD拼接仪、焦平面、直线导轨、阿贝误差

所属期刊栏目：27

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2011-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：162-166