晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定

摘要：

晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段.在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的.采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定.本文提出了精确标定Tooling Factor的方法,并对这种方法进行了实验验证.结果表明,该方法能够将膜厚控制误差从～20%降低到6%的水平,从而使多层膜的反射率曲线更加接近设计结果,实现多层膜膜厚的精确控制.

关键词：膜厚控制、晶振监控、Tooling Factor

所属期刊栏目：27

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60678034

在线出版日期：2011-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：56-60