高级紫外准分子激光器加工

摘要：

高能准分子激光器对于激光微加工来说具有极佳的灵活性,因为实际上每种加工的材料都应该具有准确高分辨率的材料烧蚀特性,并且不需要后续处理.紫外激光器直接输出需要的上转换能级的紫外(UV)光子很容易达到几百瓦的功率输出,这对于制造加工的高生产力和大规模生产是很关键的.特别是大平顶准分子激光的外形非常适合于两维和三维微加工的高效并行加工.还将介绍特别适合于材料烧蚀和表面活化的紧凑微加工概念.

机标关键词：紫外准分子激光、紫外激光器、三维微加工、上转换、激光微加工、大规模生产、材料烧蚀、高分辨率、高生产力、烧蚀特性

所属期刊栏目：27

分类号：TN249;O482.31;O646

在线出版日期：2010-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-17