用于大型低温环境下多目标光谱仪的微镜阵列

摘要：

下一代空间天文仪器与地基望远镜需要基于MOEMS的可编程狭缝模具,该模具用于必须工作在低温环境下的多目标光谱仪(MOS).1个5×5单晶硅微镜阵列(MMA)的初等模型已经成功地制作与检测.100×200μm微镜可以通过静电驱动倾斜,产生20°机械倾角.在低温制冷前后温度低于100 K的情况下,微镜阵列已经被成功驱动.1个微镜阵列包括2个不同的芯片:镜面芯片与电极芯片,分别制作在硅绝缘体基片上.为了组装大型阵列(100×200微镜),需要高精密的装调与人工处理抑制.本文为此装置发展了1种组装技术,并设计与制作出专用的XYZ倾斜平台.这个平台允许以微米量级的精度向微镜方向调准电极.大型100×200微镜阵列可以用于大视场,测量范围为25 mm×25 mm.通过使用上述设备,已经成功地制作和组装了微镜阵列,并且未检测到组装引起的变形.检测到的微镜形变的峰谷值为14nm,已经进行了初步的驱动测试.

机标关键词：大型低温、空间天文仪器、地基望远镜、moems、大型阵列、单晶硅、大视场、设计与制作、倾斜平台、人工处理

所属期刊栏目：26

分类号：TB652;TH75;P111.41

在线出版日期：2009-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8