光电位敏探测器的现状及发展

摘要：

基于横向光电效应的位置敏感探测器(PSD)是一种非分割型的、可测量入射光能量重心的光电器件.本文回顾了光电位置敏感探测器的发展过程,分析了常用的几种类型PSD的结构和工作原理,对PSD的性能指标进行了分析和归纳,并对PSD的国际及国内研究现状进行了阐述,最后对PSD的关键技术及发展趋势进行了扼要分析及展望.

关键词：位置敏感探测器、结构、性能、Lucovsky方程

所属期刊栏目：26

分类号：TN816.5(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2009-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34