用纳米印刷技术制备微机械和微流体金属光栅器件

摘要：

纳米印刷技术是一种制备大面积亚波长光栅的新技术.基于此光栅的滤光器具有光谱的特性.利用波长耦合分析法对光栅进行理论模拟,此模拟允许反射率取最大和最小值;利用微电子机械系统(MEMS)制备微流体和微机械光栅,这些光栅是制备可调滤光器和其他可选择波长器件的基本元件.这些可调器件通过改变光栅表面的折射率实现波长的选择.如果在光栅表面附着一层水膜,光栅共振波长可改变33%:如果在光栅表面覆盖石英,则共振波长从558 nm改变到879 nm,波长改变率高达58%.此外,大约有3种因素可改变单一波长的折射率.这些光栅器件在可调滤光器或光调节器方面有着重要的应用价值.

机标关键词：金属光栅、微电子机械系统、折射率、亚波长光栅、共振波长、滤光器、耦合分析、表面附着、波长耦合、表面覆盖

所属期刊栏目：26

分类号：O436;TN248.4;TP271.4

在线出版日期：2009-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：21-26