用于平板显示器制造业的快速激光刻蚀与湿法光刻技术之比较

摘要：

@@ 实验证明,ITO薄膜的快速激光刻蚀(RLP)是一种可行而且可靠的方法,可以替代平板显示制造业中现行的湿法光刻技术.但是,任何新技术想要取代工业生产中已经成熟的传统技术,都必须与传统技术放在一起进行全面的比较和对照,新工艺必须在技术和经济2方面都体现出明显的优越性才能为用户所接受.

机标关键词：平板显示器、制造业、激光刻蚀、光刻技术

所属期刊栏目：25

分类号：TN873.91;TN305.7;F426.4

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：11-18