多晶硅薄膜的激光晶化技术

摘要：

@@ 1 引言
多晶硅薄膜晶体管(p-Si TFT)在有源LCD和有源OLED中都有重要应用.在有源LCD中,a-SiTFT LCD目前占据绝大部分市场,尤其在大尺寸液晶电视和液晶显示器等方面,p-Si TFT LCD只是在中小尺寸中要求高分辨率的应用领域占据了一部分市场.

机标关键词：激光晶化技术、多晶硅薄膜

所属期刊栏目：25

分类号：TN304.055;TB383;TN451

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-10