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10.3969/j.issn.1007-1180.2007.01.001

激光调阻预置式变速光刻控制

引用
全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径.因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法.它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻.这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能.

激光调阻、预置式控制、变速控制、调阻速度、调阻精度

24

TN2(光电子技术、激光技术)

国家高技术研究发展计划(863计划);长春市科技攻关计划

2007-04-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

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1007-1180

22-1250/TH

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2007,24(1)

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