激光在微细加工中的应用

摘要：

@@ 随着电子部件的高度集成,激光在微细加工中的应用日趋广泛.计算机、手机、便携式终端机、数码相机等数字化设备为实现更高的性能和功能,必须在有限的空间内安装集成度更高的电子部件,因此激光技术已成为封装这些电子部件的必备工具.这种用于叠层衬底钻孔、半导体微细加工以及直接绘制印刷电路板的激光微细加工方法是传统机械加工方式无法比拟的.上述应用实例已得到市场认可.本文主要介绍相干公司近年来研制的激光振荡器及其应用实例.

机标关键词：微细加工

所属期刊栏目：23

分类号：TH16

在线出版日期：2006-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32