新型紫外激光器解决了微细加工的材料和成本问题

摘要：

@@ 准分子激光器以其高精度和低热效应广泛用于各种材料的加工中,现已成为半导体芯片、微电子器件以及医疗设备制造商十分青睐的加工设备.当加工聚合物和陶瓷工件时,准分子紫外波长(157nm,193nm,248nm,266nm和355nm)进入靶材料时有很高的吸收率并会产生非常好的烧蚀结果.另外,通过简单地改变光学系统或气体即可将单个准分子激光器调谐至几个紫外波长,使其成为多用途加工设备.

机标关键词：紫外激光器、微细加工、成本问题

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：7-9