厚膜微调技术及发展趋势

摘要：

介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类.与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展前景.

关键词：喷砂微调、脉冲电压微调、激光微调

分类号：TN06;TN452;TP391.7

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34